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“MEMS可变电容加速度传感器”参数说明
| 类型： | 电容式 |
“MEMS可变电容加速度传感器”详细介绍
该类型传感器采用进口微机械加工可变电容敏感芯片，配以调整电路。其最大特点是灵敏度高，零频响应信号无衰减，防水、密封、对地绝缘，特别适合低频测量和长期监测。
“MEMS可变电容加速度传感器”其他说明
| 型号 | HK9181 | HK9182 | HK9183 |
| 灵敏度 mV/g | 1200 | 38 | 38 |
| 量程 ± g | 1.7 | 50 | 50 |
| 频率范围 (± 3dB)Hz | 0-500 | 0-1000 | 0-1000 |
| 线性 %F• S | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| 最大横向灵敏度比 % | <5 | <5 | <7 |
| 最大冲击 g | 1000 | 1000 | |
| 使用温度范围 ℃ | -40-+85 | -40-+85 | -40-+85 |
| 工作电压(Vs) V | 5-5.5 | 5-5.5 | 5.1± 0.1 |
| 工作电流 mA | 3.5 | 3.5 | |
| 零g输出 V | Vs/2± 0.35 | Vs/2± 0.35 | Vs/2± 0.3 |
| 质量 g | 76.5 | 73.5 | 2 |
| 备注 | 双轴 | 双轴 | 双轴/三轴 |